Med MEMS-teknologi kan man bygge mikroskopiske mikrofoner direkte på en tynd siliciumskive - verdens bedste og mindste industrielt producerede mobilmikrofon.
Om projektet
Mikrofonen består af tre chips: En MEMS, en ASIC og en substrat chip.
Projektet vil udvikle en produktionsmetode, der reducerer kostprisen og øger integrationsniveauet ved at mindske brugen af silicium. Tre kritiske teknikker er succesfuldt demonstreret, og der er indleveret to patentansøgninger.
I den sidste del af projektet skal de udviklede teknikker kombineres og resultatet testes op mod teoretiske beregninger. Den første demonstrator realiseres ved hjælp af faciliteter på Danchip, DTU.
Der fokuseres på de kritiske processer, som fremkommer, når man kombinerer de nyudviklede teknikker, herunder den fysiske håndtering af de enkelte elementer.
Som afslutning på projektet er en mere avanceret demonstrator planlagt. En MPW-kørsel gør det muligt at kombinere erfaringer fra Danchip med et onchip integreret kredsløb og derved fremstille et monolitisk mikrofondesign.